隨著半導體產業與資訊化光電的持續發展,高附加價值與高產值產品加工技術正迅速崛起,機械加工也走向超精密化、高密度化、智能化及微小化的微機械加工產品,作者為因應市場發展與時代的變遷,以微米及元件加工製程為主,用實例之加工技術介紹相關內容,著重實用科學技術,並結合微機電系統之需求技術,將其多年研究累積之知識與經驗,彙整出一本配合現代社會趨勢所向之書。適合大專院校機械科系微機電課程使用。
隨著半導體產業與資訊化光電的持續發展,高附加價值與高產值產品加工技術正迅速崛起,機械加工也走向超精密化、高密度化、智能化及微小化的微機械加工產品,作者為因應市場發展與時代的變遷,以微米及元件加工製程為主,用實例之加工技術介紹相關內容,著重實用科學技術,並結合微機電系統之需求技術,將其多年研究累積之知識與經驗,彙整出一本配合現代社會趨勢所向之書。適合大專院校機械科系微機電課程使用。