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表面科學與薄膜技術基礎

表面科學與薄膜技術基礎

現代半導體技術和優選材料研發的進步,促進薄膜材料和製備技術快速發展,要求薄膜製備技術和薄膜結構有精細控制,需要瞭解表面與薄膜方面的基本物理知識。本書著重介紹表面與薄膜相關的基本概念、基本原理...more

科學出版社

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